该灯管应用于对各种材料表面进行处理“超洁净”处理的工业生产，紫外臭氧光清洗利用紫外光

子对有机物质所起的光敏氧化作用以达到清洗粘附在物体表面上的有机化合物（碳氢化合物）的目

的。采用能够产生波长为254nm、185nm的紫外光UV灯，大多数有机化合物对其中254nm波长

的紫外光有较强的吸收能力，它们在吸收了紫外光之后，分解为离子、游离态原子、受激分子和中

性分子，这即光敏作用。而大气中的氧气在吸收了波长为185nm的紫外光子后产生臭氧O3和原子

氧O，产生的O3对254nm波长的紫外光又具有强烈的吸收作用，在光子的作用下，臭氧又会分解

为氧气和激态氧原子O*，由于激态氧原子O*极其活泼，物体表面上的碳和氢化合物的光敏分解物

在它的氧化作用下，化合成可挥发性气体：二氧化碳、氮气和水蒸气等，逸出物体表面，从而达到

彻底清除粘附在物体表面上的顽固有机物质的目的；且利用强紫外线的作用对于车灯表面改质硬

化。广泛应用于LCD（ITO）玻璃、IC 基片、玻璃/石英制品等表面洁净及车灯的改质等用途。